特許
J-GLOBAL ID：201603003489271729

感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法、重合体及び化合物

発明者：
生井 準人

生井 準人 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (6件)： 天野 一規 ,  池田 義典 ,  小川 博生 ,  石田 耕治 ,  各務 幸樹 ,  藤中 賢一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-040808
公開番号（公開出願番号）：特開2016-161790
出願日： 2015年03月02日
公開日（公表日）： 2016年09月05日
要約：
【課題】LWR性能、解像性、断面形状の矩形性、焦点深度及び膜収縮抑制性に優れる感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】式(1)で表される第1構造単位を有する第1重合体、感放射線性酸発生体、及び溶媒を含有する感放射線性樹脂組成物である。式(1)中、Lは特定構造の2価の連結基、Xは炭素数1〜30の1価の有機基又はヒドロキシ基、Eは置換又は非置換の炭素数1〜5の2価の炭化水素基である。R1及びR2は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基である。R3は、水素原子又は炭素数1〜30の1価の有機基である。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
下記式(1)で表される第1構造単位を有する第1重合体、 感放射線性酸発生体、及び 溶媒 を含有する感放射線性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/039 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/20 ,  C08F 20/00
FI (4件)：
G03F7/039 601 ,  G03F7/038 601 ,  G03F7/20 521 ,  C08F20/00
Fターム (115件)：
2H125AF17P ,  2H125AF38P ,  2H125AF41P ,  2H125AF70P ,  2H125AH11 ,  2H125AH14 ,  2H125AH16 ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH24 ,  2H125AH25 ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ16Y ,  2H125AJ32Y ,  2H125AJ45Y ,  2H125AJ65Y ,  2H125AJ68Y ,  2H125AJ69Y ,  2H125AJ73Y ,  2H125AJ74Y ,  2H125AJ75Y ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN54P ,  2H125AN56P ,  2H125AN63P ,  2H125AN65P ,  2H125AN88P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC01 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  2H125FA05 ,  2H197CA08 ,  2H197CA09 ,  2H197CA10 ,  2H197CE01 ,  2H197CE10 ,  2H197HA03 ,  2H197HA04 ,  2H197JA22 ,  2H197JA24 ,  2H225AF24P ,  2H225AF53P ,  2H225AF54P ,  2H225AF67P ,  2H225AF68P ,  2H225AF70P ,  2H225AF71P ,  2H225AF99P ,  2H225AH11 ,  2H225AH14 ,  2H225AH16 ,  2H225AH17 ,  2H225AH19 ,  2H225AH38 ,  2H225AH39 ,  2H225AJ13 ,  2H225AJ16 ,  2H225AJ32 ,  2H225AJ45 ,  2H225AJ54 ,  2H225AJ58 ,  2H225AJ59 ,  2H225AJ62 ,  2H225AJ63 ,  2H225AJ64 ,  2H225AN39P ,  2H225AN42P ,  2H225AN54P ,  2H225AN56P ,  2H225AN63P ,  2H225AN65P ,  2H225AN88P ,  2H225BA02P ,  2H225BA26P ,  2H225CA12 ,  2H225CB09 ,  2H225CB10 ,  2H225CC01 ,  2H225CC03 ,  2H225CC15 ,  2H225CD05 ,  4J100AB07Q ,  4J100AJ03P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL29P ,  4J100AL31P ,  4J100BA03P ,  4J100BA11P ,  4J100BA11Q ,  4J100BA15P ,  4J100BA15Q ,  4J100BA16P ,  4J100BA40P ,  4J100BA40Q ,  4J100BA55P ,  4J100BB18P ,  4J100BB18Q ,  4J100BC03P ,  4J100BC03Q ,  4J100BC04P ,  4J100BC04Q ,  4J100BC08Q ,  4J100BC09P ,  4J100BC52P ,  4J100BC52Q ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100BC84Q ,  4J100JA38
引用特許：
審査官引用 (7件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)
  • One-Pot Synthesis of 5-Hydroxypyrrolin-2-one Derivatives from Modified Morita-Baylis-Hillman Adducts

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