特許
J-GLOBAL ID：201603004106292929

真直度測定装置及び真直度測定方法

発明者：
高橋 一平

高橋 一平 について

, 
下田 知之

下田 知之 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 小林 和憲
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-162504
公開番号（公開出願番号）：特開2014-021042
特許番号：特許第5922520号
出願日： 2012年07月23日
公開日（公表日）： 2014年02月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】互いに異なる位相差特性を有するストライプ状の第1及び第2位相差領域が交互に複数並べて配列されたフイルム状またはシート状の形状を有するパターン化位相差材料である被検体上に所定の間隔で配列された直線パターンの真直度を測定する真直度測定装置であって、 撮像範囲が前記直線パターンの方向に重複領域を有するように前記被検体について複数の画像を撮像する撮像装置と、 前記複数の画像を、前記直線パターンの方向に垂直な被検体面内方向にシフトさせることで前記重複領域が的確に重なるように連結し、その重ねて連結した画像における前記直線パターンの真直度を測定する画像処理部と、 発光面からの光を前記被検体の一方の面に向けて照射する照明装置と、 照明装置の発光面付近と、前記撮像装置の撮像面付近に、それぞれ前記発光面あるいは前記撮像面に略平行に設けられ、前記画像の少なくとも一方の位相差領域における輝度と境界領域における輝度とを識別できるようにそれぞれの第1及び第2透過軸が設定された第1及び第2偏光板と、 を有することを特徴とする真直度測定装置。
IPC (1件)：
G01B 11/30 ( 200 6.01)
FI (1件)：
G01B 11/30 101
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM