特許

J-GLOBAL ID：201603004142941542

静電容量式加速度センサ

発明者： 野村 健一 ,  岩瀬 典子 ,  日下 靖之 ,  牛島 洋史 ,  市川 真太郎 ,  三井 亮介 ,  高橋 誠哉 ,  宇佐美 貴一 ,  中島 伸一郎 ,  三津間 高志
出願人/特許権者： 国立研究開発法人産業技術総合研究所 ,  日本航空電子工業株式会社
代理人 (3件)： 中尾 直樹 ,  中村 幸雄 ,  義村 宗洋
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-004684
公開番号（公開出願番号）：特開2014-137240
特許番号：特許第5994185号
出願日： 2013年01月15日
公開日（公表日）： 2014年07月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板と、 前記基板の一方の板面に積層形成され、厚さ方向に弾性変形可能な支持体層と、 前記支持体層上に形成された上側電極と、 前記上側電極上に配置された錘と、 前記基板の他方の板面に形成されて前記上側電極との間に静電容量を形成する下側電極とを有することを特徴とする静電容量式加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/125 ( 200 6.01) ,  G01P 15/18 ( 201 3.01) ,  H01L 29/84 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01P 15/125 Z ,  G01P 15/18 ,  H01L 29/84 Z

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 触覚センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-083417   出願人：国立大学法人金沢大学
• 加速度・角速度検出素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-297344   出願人：京セラ株式会社
• 力検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-132566   出願人：岡田和廣