特許
J-GLOBAL ID：201603004633036345
樹脂封止装置及び樹脂封止方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-088410
公開番号（公開出願番号）：特開2014-212246
特許番号：特許第5934139号
出願日： 2013年04月19日
公開日（公表日）： 2014年11月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1の成形型と、該第1の成形型に相対向して設けられた第2の成形型と、前記第1の成形型に設けられた第1のキャビティと、樹脂材料が収容されるポットと、該ポットにおいて進退自在に設けられ前記樹脂材料が溶融して生成された流動性樹脂を圧送するプランジャと、前記第2の成形型に設けられ前記流動性樹脂が前記第1のキャビティに向かって流動する樹脂通路として機能し得る溝部と、前記第1の成形型と前記第2の成形型とを少なくとも有する成形型群を型締めし型開きする駆動機構と、前記第1の成形型の型面を被覆する第1の離型フィルムを供給する第1のフィルム供給機構とを備え、前記第1のキャビティに注入された前記流動性樹脂を硬化させて硬化樹脂を形成し、基板に装着されたチップを前記硬化樹脂によって樹脂封止する樹脂封止装置であって、
前記溝部と前記第1の離型フィルムとが平面視して重なる範囲において前記第1の離型フィルムにおける前記溝部を横切る部分を包含する一部分を前記第1の成形型の型面に対して押圧することによって密着させるフィルム押え部材を備え、
前記成形型群が型締めした状態において、前記溝部が前記樹脂通路として機能し、かつ、前記樹脂通路と前記第1のキャビティとが連通し、
前記第1の離型フィルムは前記重なる範囲における前記第1の成形型の型面と前記第1のキャビティが有する型面とを包含するようにして配置され、
前記第1の離型フィルムが前記第1の成形型の型面に密着することによって、前記流動性樹脂が前記第1の離型フィルムの端部から前記第1の離型フィルムと前記第1の成形型の型面との間に入り込むことが抑制され、
前記第1の成形型に設けられた凹部と、
前記凹部において前記第2の成形型に対して進退可能に設けられ前記ポットが形成されたポットブロックと、
前記ポットブロックにおける前記第1の成形型の型面から突出する部分に設けられた張り出し部とを更に備え、
前記張り出し部は前記フィルム押え部材として機能し、
前記張り出し部における前記第1の成形型の型面に相対向する面によって前記第1の離型フィルムの前記一部分が前記第1の成形型の型面に対して押圧され、
前記フィルム押え部材は前記第1の離型フィルムの前記一部分を前記基板を介して押圧することを特徴とする樹脂封止装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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