特許

J-GLOBAL ID：201603005028567610

コムドライブを備えた2次元MEMSトライボメータ

発明者： オ・ユンジェ ,  サイード・アマヌラ・サイード・アシフ ,  ウォーレン・オデン
出願人/特許権者： ヒシトロン・インコーポレイテッド
代理人 (3件)： 山田 卓二 ,  田中 光雄 ,  岡部 博史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-030312
公開番号（公開出願番号）：特開2016-122015
出願日： 2016年02月19日
公開日（公表日）： 2016年07月07日
要約：

【課題】2次元微小電気機械(MEMS)ナノインデンター変換器を提供する。【解決手段】本体と、取り外し可能なインデンターチップ205を保持する可動プローブと、第1の微小機械コムドライブと、第2の微小機械コムドライブと、を含む。第1の微小機械コムドライブは、インデンテーション方向である第1の軸に沿ってプローブを駆動する複数の静電容量アクチュエータと、プローブの第1の軸方向の位置を表す複数の差動容量センサと、を含む。第2の微小機械コムドライブは、第1の軸に垂直である、第2の軸に沿ってプローブを駆動する複数の静電容量アクチュエータと、プローブの第2の軸方向の位置を表す複数の差動容量センサと、を含む。各静電容量アクチュエータと各差動容量センサは、電極コム対を備え、各電極コム対は本体に連結された固定電極コムとプローブに連結された可動電極コムとを含んでいる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

本体; 前記本体に関連して連結され、可動のプローブであって、取り外し可能なインデンターチップを保持する前記プローブ; 印加されたバイアス電圧に応じて、インデンテーション方向を含む、第1の軸に沿って前記プローブを駆動するよう構成された複数の静電容量アクチュエータを備えたアクチュエータと、前記第1の軸に関連して前記プローブの位置をともに表す容量レベルを有する複数の差動容量センサを備える変位センサと、を含む第1の微小機械コムドライブ;および、 印加されたバイアス電圧に応じて、前記第1の軸と垂直である、第2の軸に沿って前記プローブを駆動するよう構成された複数の静電容量アクチュエータを備えたアクチュエータと、前記第2の軸に関連して前記プローブの位置をともに表す容量レベルを有する複数の差動容量センサを備えた変位センサと、を含む第2の微小機械コムドライブ; を具備するMEMSナノインデンター変換器であって、 各前記静電容量アクチュエータ及び各前記差動容量センサは電極コム対を備え、各電極コム対は前記本体に連結された固定電極コムと前記プローブに連結された可動電極コムを含む、MEMSナノインデンター変換器。

IPC (1件)：

G01N 3/42

FI (1件)：

G01N3/42 Z

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 集積化微細装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-328707   出願人：株式会社日立製作所
• 多次元容量変換器
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平9-522780   出願人：ヒシトロンインコーポレイテッド
• 電気-機械変換装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-210406   出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (3件)

• 集積化微細装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-328707   出願人：株式会社日立製作所
• 多次元容量変換器
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平9-522780   出願人：ヒシトロンインコーポレイテッド
• 電気-機械変換装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-210406   出願人：株式会社日立製作所