特許
J-GLOBAL ID：201603005547021609
光ファイバ母材製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, ▲高▼木 邦夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-555151
特許番号：特許第6011549号
出願日： 2012年12月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 コア部およびクラッド部を含む石英系ガラスからなる光ファイバ母材を製造する方法であって、
石英ガラスからなるガラスパイプの内表面近傍に最高濃度500ppm以上20000ppm以下のアルカリ金属を添加するアルカリ金属添加工程と、
前記アルカリ金属添加工程の後に前記ガラスパイプの内部にSF6ガスおよび該SF6ガスの流量の2〜10倍の流量の塩素ガスを流しながら、前記ガラスパイプの内表面の温度が1500°C以上であり且つ前記ガラスパイプの各点が温度800°C以上に加熱される時間が8分より短くなるように前記ガラスパイプを加熱して前記ガラスパイプの内表面を気相エッチングするエッチング工程と、
前記エッチング工程の後に前記ガラスパイプを中実化してガラスロッドを作製する中実化工程と、
を備え、
前記エッチング工程においてキャリアガスとして酸素を含まず、
前記中実化工程により作製されたガラスロッドを用いて光ファイバ母材を製造する、
ことを特徴とする光ファイバ母材製造方法。
IPC (2件)：
C03B 37/018 ( 200 6.01)
, G02B 6/02 ( 200 6.01)
C03B 37/018 B
, G02B 6/02 356 A
, G02B 6/02 376 A
