薬液排出機構、液処理装置、薬液排出方法、記憶媒体

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：井上俊夫 , 三井田友昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-143453
公開番号（公開出願番号）：特開2016-021424
出願日： 2014年07月11日
公開日（公表日）： 2016年02月04日
要約：

【課題】粘度が比較的高い薬液を排出するための薬液排出機構において、当該薬液の排液路が占める高さを小さくすることができる技術を提供すること。【解決手段】薬液が貯留される貯留空間を備えた貯留部と、前記貯留空間に、前記薬液の粘度を下げる希釈液を供給するために開口する希釈液供給口と、前記希釈液と前記薬液とを撹拌させるために前記貯留空間に流体を供給して、当該希釈液及び薬液に渦流を形成するための渦流形成部と、撹拌済みの前記希釈液及び薬液を、前記希釈液の供給により流入させて前記貯留空間から排出するために、当該貯留空間において前記希釈液供給口の上方に開口する排液口と、を備えるように排液機構を構成する。このような構成により、排液口から排出される廃液の粘度を低下させることができ、当該排液口に接続される排液路の水平面に対する傾きを大きくする必要がなくなる。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

薬液が貯留される貯留空間を備えた貯留部と、前記貯留空間に、前記薬液の粘度を下げる希釈液を供給するために開口する希釈液供給口と、前記希釈液と前記薬液とを撹拌させるために前記貯留空間に流体を供給して、当該希釈液及び薬液に渦流を形成するための渦流形成部と、撹拌済みの前記希釈液及び薬液を、前記希釈液の供給により流入させて前記貯留空間から排出するために、当該貯留空間において前記希釈液供給口の上方に開口する排液口と、を備えたことを特徴とする薬液排出機構。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , B05C 11/10

FI (2件)：

H01L21/30 564C , B05C11/10

Fターム (8件)：

4F042AA07 , 4F042BA05 , 4F042BA12 , 4F042CC04 , 4F042CC10 , 4F042CC15 , 5F146JA08 , 5F146JA09

引用特許：

審査官引用 (7件)

ボタン供給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-164610 出願人：ジユーキ株式会社
基板塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-262827 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
特開平3-052668

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