特許
J-GLOBAL ID：201603006392297102

反射型回折素子

発明者：
杉山 成

杉山 成 について

, 
田中 真人

田中 真人 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (2件)： 近島 一夫 ,  大田 隆史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-136407
公開番号（公開出願番号）：特開2016-173614
出願日： 2016年07月08日
公開日（公表日）： 2016年09月29日
要約：
【課題】イマージョン回折素子の回折効率低下を防ぎ、光学的に性能を満足できるイマージョン回折素子を提供する。【解決手段】所定の波長の光線を透過する材料の1つの面に光線を透過しない反射膜で覆われたエシェル型回折格子が形成された反射型回折素子であって、前記回折格子10aは入射光10fに正対するブレーズ面10dnと隣接するブレーズ面10dn+1同士を接続する非ブレーズ面10enの繰り返しにより構成される。前記ブレーズ面10dnと非ブレーズ面10enがなす角度αを鋭角に形成した。ブレーズ面10dnにおける格子頂部Aに発生する欠陥が、隣接するブレーズ面10dn+1の影に入り、入射光10fが欠陥部分により散乱光となることを防止する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
所定の波長の光線を透過する材料の1つの面に光線を透過しない反射膜で覆われたエシェル型回折格子が形成された反射型回折素子であって、 前記回折格子は入射光に正対するブレーズ面と隣接する前記ブレーズ面同士を接続する非ブレーズ面の繰り返しにより構成され、前記ブレーズ面と前記非ブレーズ面がなす角度を鋭角に形成したことを特徴とする反射型回折素子。
IPC (1件)：
G02B 5/18
FI (1件)：
G02B5/18
Fターム (5件)：
2H249AA07 ,  2H249AA32 ,  2H249AA53 ,  2H249AA58 ,  2H249AA63
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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