特許
J-GLOBAL ID：201603006535983282
改良された電極構造体を有する静電容量型圧力センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-533362
特許番号：特許第5997771号
出願日： 2012年09月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 (a)共通電極を有するダイヤフラムと、
(b)中心電極およびリング電極を有する電極構造体と、
前記ダイヤフラムが前記電極構造体に対して拘束され、前記共通電極が、前記中心電極および前記リング電極から間隔を空けて配置されるとともに、前記圧力計の整列軸に対して前記中心電極および前記リング電極と軸方向に整列されるように、前記ダイヤフラムを支持するように配置されるダイヤフラム支持構造体と、
前記電極構造体を支持するように配置され、前記整列軸の周りに角度間隔を空けて配置される少なくとも3つの湾曲部が一体的に形成される適合リングを有する電極支持構造体と、
を備え、
前記ダイヤフラムは、(i)前記ダイヤフラムの両側にかかる圧力が同じ場合のゼロ位置と、(ii)前記ダイヤフラムに最大測定可能差圧が加えられた場合の最大差動位置との間で、前記電極構造体に対して可動であり、
前記電極支持体は、前記適合リングの前記湾曲部の位置で前記ダイヤフラムに対して所定の位置に固定されることを特徴とする静電容量型圧力計。
IPC (3件)：
G01L 13/06 ( 200 6.01)
, G01L 21/00 ( 200 6.01)
, H01L 29/84 ( 200 6.01)
G01L 13/06 C
, G01L 21/00 Z
, H01L 29/84 Z
