特許
J-GLOBAL ID：201603006547312448
温度制御システム及び温度制御方法。
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 柏岡 潤二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-209699
公開番号（公開出願番号）：特開2016-081158
出願日： 2014年10月14日
公開日（公表日）： 2016年05月16日
要約：
【課題】簡易な構成でステージの温度を制御する。【解決手段】熱交換媒体を流通させる熱交換媒体流路がその内部に形成されたステージSTと、第1のバルブと、第2のバルブと、第1のバルブを介して熱交換媒体流路に接続される第1の熱交換媒体供給装置100aと、第2のバルブを介して熱交換媒体流路に接続される第2の熱交換媒体供給装置100bと、第1の熱交換媒体及び第2の熱交換媒体が熱交換媒体流路の一端に交互に供給されるように第1のバルブ及び第2のバルブを制御する制御装置Cntと、を備える。制御装置は、ステージの温度を目標温度にするために必要な熱量を取得する熱量取得部と、第1の熱交換媒体及び第2の熱交換媒体の供給時間をそれぞれ算出する供給時間算出部と、当該供給時間で、第1の熱交換媒体及び第2の熱交換媒体が熱交換媒体流路の一端に交互に供給されるように、第1のバルブ及び第2のバルブを制御するバルブ制御部とを含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被処理体を支持するステージであり、一端及び他端を有し、該一端から該他端に熱交換媒体を流通させる熱交換媒体流路がその内部に形成された該ステージと、
第1のバルブと、
第2のバルブと、
第1の温度に調整された第1の熱交換媒体を供給する供給口及び回収口を有する第1の熱交換媒体供給装置であり、前記供給口が前記第1のバルブを介して前記熱交換媒体流路の一端に接続される、該第1の熱交換媒体供給装置と、
前記第1の温度よりも高い第2の温度に調整された第2の熱交換媒体を供給する供給口及び回収口を有する第2の熱交換媒体供給装置であり、前記供給口が前記第2のバルブを介して前記熱交換媒体流路の一端に接続される、該第2の熱交換媒体供給装置と、
前記第1の熱交換媒体及び前記第2の熱交換媒体が前記熱交換媒体流路の一端に交互に供給されるように前記第1のバルブ及び前記第2のバルブを制御する制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、
前記ステージの温度を目標温度にするために必要な熱量を取得する熱量取得部と、
前記必要な熱量に基づいて、前記熱交換媒体流路に対して交互に供給される第1の熱交換媒体及び第2の熱交換媒体の供給時間をそれぞれ算出する供給時間算出部と、
前記供給時間算出部によって算出された前記供給時間で、前記第1の熱交換媒体及び前記第2の熱交換媒体が前記熱交換媒体流路の一端に交互に供給されるように、前記第1のバルブ及び前記第2のバルブを制御するバルブ制御部と、
を含む、
温度制御システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G05D23/00 A
, H01L21/302 101G
5F004BA09
, 5F004BB11
, 5F004BB22
, 5F004BB25
, 5F004BB26
, 5F004BB28
, 5F004BB29
, 5F004CA06
, 5H323AA01
, 5H323BB11
, 5H323CA09
, 5H323CB22
, 5H323CB32
, 5H323CB33
, 5H323DA04
, 5H323DB15
, 5H323FF04
, 5H323HH02
, 5H323KK05
