特許
J-GLOBAL ID:201603006839446240

半導体基板パッシベーション膜形成用組成物、パッシベーション膜付半導体基板及びその製造方法、並びに太陽電池素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人太陽国際特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-218466
公開番号(公開出願番号):特開2014-072449
特許番号:特許第6011215号
出願日: 2012年09月28日
公開日(公表日): 2014年04月21日
請求項(抜粋):
【請求項1】 下記一般式(I)で表される有機アルミニウム化合物と、フッ素系界面活性剤及びシリコーン系界面活性剤から選択される少なくとも1種と、を含む半導体基板パッシベーション膜形成用組成物。
IPC (1件):
H01L 21/316 ( 200 6.01)
FI (1件):
H01L 21/316 G
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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