特許
J-GLOBAL ID:201603006999732541
異物除去装置及び清掃システム
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (6件):
天野 一規
, 池田 義典
, 小川 博生
, 石田 耕治
, 各務 幸樹
, 藤中 賢一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-020763
公開番号(公開出願番号):特開2016-140850
出願日: 2015年02月04日
公開日(公表日): 2016年08月08日
要約:
【課題】本発明は、被対象物から異物を容易かつ確実に除去することができる異物除去装置を提供することを課題とする。【解決手段】本発明に係る異物除去装置は、被対象物に接触することで異物を除去する粘着面を有する異物付着部、上記異物付着部の粘着面に接触することで異物付着部の粘着面の異物を除去可能な長尺状の粘着シート、及び異物付着部の粘着面に粘着シートの未使用部分を供給する供給部と粘着シートの使用済み部分を排出する排出部とを有する粘着シート供給排出機構を備える。粘着シート供給排出機構は、供給部から排出部に粘着シートを送るシート送り部を備えるとよい。粘着シート供給排出機構は、異物付着部に接近及び離反可能に設けられる移動部を有し、粘着シート供給排出機構が、移動部の異物付着部との接近時に粘着シートを異物付着部に接触させ、移動部の異物付着部との離反時に粘着シートを異物付着部と離間させるとよい。【選択図】図8
請求項(抜粋):
被対象物に接触することで異物を除去する粘着面を有する異物付着部、
上記異物付着部の粘着面に接触することで上記異物付着部の粘着面の異物を除去可能な長尺状の粘着シート、及び
上記異物付着部の粘着面に上記粘着シートの未使用部分を供給する供給部と上記粘着シートの使用済み部分を排出する排出部とを有する粘着シート供給排出機構を備える異物除去装置。
IPC (4件):
B08B 1/04
, A47L 25/00
, B08B 7/00
, B65H 5/00
FI (4件):
B08B1/04
, A47L25/00 C
, B08B7/00
, B65H5/00 B
Fターム (15件):
3B116AA02
, 3B116AB14
, 3B116BA08
, 3B116BA22
, 3B116BA31
, 3B116BB22
, 3B116BC07
, 3B116CA01
, 3B116CC05
, 3B116CD21
, 3F101AB03
, 3F101AB08
, 3F101AB13
, 3F101LA16
, 3F101LB12
引用特許:
審査官引用 (6件)
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特開平1-136748
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特開平1-122437
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回転する印刷機シリンダのクリーニング用装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-355241
出願人:バルドヴィンゲルマニーゲーエムベーハー
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板状部品塵埃除去装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-377181
出願人:有限会社ピーシービープランニング
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除塵装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-026187
出願人:アミテック株式会社
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半導体基板の異物除去装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-233602
出願人:富士通株式会社
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