特許

J-GLOBAL ID：201603007333340068

切削装置

発明者： 福岡 武臣 ,  関家 一馬
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-088731
公開番号（公開出願番号）：特開2013-219201
特許番号：特許第5975703号
出願日： 2012年04月09日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 板状の被加工物を個々のチップに分割してチップケースに収容する切削装置であって、 該被加工物を保持面で吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された該被加工物に加工液を供給しつつ切削ブレードで分割加工する加工手段と、該被加工物を搬出入する搬出入領域と該被加工物を分割加工する加工領域との間で該チャックテーブルを加工送り方向に移動させる加工送り手段と、該加工手段を該加工送り方向に直交する割り出し送り方向に移動させる割り出し送り手段と、個々に分割された該チップに流体を吹き付けて該チャックテーブルから該チップケースに収容するチップ移動手段と、を備え、 該チップ移動手段は、 該搬出入領域に配設され、該チャックテーブルからの吸引が停止された分割後の該チップに該割り出し送り方向に移動しつつ斜め上方から移動方向前方に向かって流体を吹き付け、該チップを該チャックテーブルから吹き飛ばすチップ飛ばしノズルと、 該搬出入領域に配設され、該チップ飛ばしノズルの移動方向前方で該加工送り手段の脇に配設され、該チャックテーブルの保持面より低い位置に開口して、該チップ飛ばしノズルで吹き飛ばされた該チップを収容する着脱可能なチップケースと、 を備えていることを特徴とする切削装置。

IPC (1件)：

H01L 21/301 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01L 21/78 F ,  H01L 21/78 Y ,  H01L 21/78 P

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特許第4388640号
  
• 矩形基板の分割装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-346349   出願人：株式会社ディスコ
• シンギュレーション装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-399745   出願人：株式会社東京精密
• 特開昭60-010639
  

審査官引用 (4件)

• 特許第4388640号
  
• 矩形基板の分割装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-346349   出願人：株式会社ディスコ
• シンギュレーション装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-399745   出願人：株式会社東京精密
• 特開昭60-010639