シンギュレーション装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-399745
公開番号（公開出願番号）：特開2003-197568
出願日： 2001年12月28日
公開日（公表日）： 2003年07月11日
要約：

【要約】【課題】切り離されたワークのスクラップが蛇腹型カバーの上に落下して蛇腹型カバーを損傷するのを防止すると共に、前記スクラップを自動的に端材収納器に集めることのできるシンギュレーション装置を提供すること。【解決手段】ワークテーブル15の研削送り方向駆動機構を研削水やミストから覆う蛇腹型カバー28の上方にロールカーテン31を設け、ロールカーテン31の端部下方に端材収納器26を設けたので、切断されたワークWの端材Sはロールカーテン31によって搬送され、蛇腹型カバー28上に落下することなく、自動的に端材収納器26内に収納される。また、ロールカーテン31の幅方向両端部で該ロールカーテン31をその長手方向にガイドするガイドブロック32と、前記ロールカーテン31の幅方向両端部で該ロールカーテン31の上面に接触するサイドカバー33とを設け、更に、ガイドブロック32には、該ガイドブロック内側面より内側に突出した庇部材35を設けた。

請求項（抜粋）：

ワークを加工する回転刃と、該ワークを載置して前記回転刃に対して相対的に研削送り方向に移動するワークテーブルと、前記ワークテーブルの研削送り方向駆動機構を研削水やミストから覆う蛇腹型カバーとを有し、前記回転刃でワークを個々のチップに切断するシンギュレーション装置において、前記蛇腹型カバーの上方には、前記ワークテーブルの研削送り方向移動に追従して繰り出され、あるいは巻き取られるロールカーテンが設けられると共に、前記ロールカーテンの端部下方に、切断された前記ワークの端材を収納する端材収納器が設けられていることを特徴とするシンギュレーション装置。

IPC (2件)：

H01L 21/301 , B24B 27/06

FI (2件)：

B24B 27/06 J , H01L 21/78 F

Fターム (4件)：

3C058AA03 , 3C058AC05 , 3C058CA01 , 3C058CB06

引用特許：

審査官引用 (8件)

切削装置のジャバラ機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-326020 出願人：株式会社ディスコ
特開平4-283041
特開平4-275852

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