保持パッド

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：五十嵐俊明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-217497
公開番号（公開出願番号）：特開2014-069284
特許番号：特許第5968179号
出願日： 2012年09月28日
公開日（公表日）： 2014年04月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】湿式成膜法により発泡が形成され被研磨物を保持するための保持面側にスキン層を有する軟質樹脂シートと、前記軟質樹脂シートの前記保持面の背面に対向するように配され、前記背面に対向する面側に略平坦な表面を有する樹脂製基材と、を備え、前記軟質樹脂シートは、厚さの平均値が0.2mm〜0.8mmの範囲、厚さの標準偏差が0.01mm以下であり、前記軟質樹脂シートは、前記基材上に塗工された樹脂溶液の凝固により形成されたものであり、前記保持面に該保持面の1cm2あたりに50mgの割合で水を滴下し一定時間放置したときに、吸収された水の質量の滴下した水の質量に対する割合が0.1%以下であることを特徴とする保持パッド。

IPC (2件)：