導波路及びその製造方法、ならびに電磁波分析装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤一男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-173724
公開番号（公開出願番号）：特開2013-070361
特許番号：特許第6034616号
出願日： 2012年08月06日
公開日（公表日）： 2013年04月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】第一の導体層、第二の導体層、及び、前記第一の導体層と前記第二の導体層との間に配置されており半導体多層膜を有するコア層を有し、共振器構造を有する導波路構造と、前記共振器構造を有する導波路構造の端に配置されており、第一の面と第二の面とを有するテーパー構造と、を備え、前記第一の面と前記第二の面とのそれぞれは、前記半導体多層膜の積層方向に対して鋭角をなして互いに向かい合って配置されており、前記共振器構造を有する導波路構造の光軸に垂直な前記テーパー構造の空間断面が、前記テーパー構造の最外部の開口面に近づくに従って、少なくとも前記光軸と直交する1つの方向に前記光軸を挟んで両側に広がることを特徴とする導波路。

IPC (3件)：