特許
J-GLOBAL ID：201603008138018638
試料保持具
発明者：
佐藤 政宏
佐藤 政宏 について
名寄せID(JGPN) 200901100530490672 ですべてを検索
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出願人/特許権者：
京セラ株式会社
京セラ株式会社 について
名寄せID(JGON) 202251000178525248 ですべてを検索
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公報種別：
特許公報
出願番号（国際出願番号）：
特願2014-553220
特許番号：
特許第6027140号
出願日：
2013年12月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 セラミックスからなり上面に試料保持面を有するとともに内部に熱媒体の流路を有する基体と、前記流路の内表面を被覆している被覆膜とを具備しており、該被覆膜は、前記基体のセラミックスよりも硬度が高いセラミックスからなる試料保持具。
IPC (1件)：
H01L 21/683 ( 200 6.01)
FI (1件)：
H01L 21/68 R
引用特許：
審査官引用 (5件)
静電チャック、及び半導体製造装置
公報種別：
公開公報
出願番号：
特願2001-271081
出願人：
三菱重工業株式会社
樹脂押出加工用流路とそれを用いた押出加工方法
公報種別：
公開公報
出願番号：
特願平8-204581
出願人：
旭化成工業株式会社
セラミックス成形装置及びセラミックス製品の製造方法
公報種別：
公開公報
出願番号：
特願平4-206998
出願人：
株式会社日本製鋼所
特開昭63-209903
ダイヤモンド類被覆部材の製造方法
公報種別：
公開公報
出願番号：
特願平3-174184
出願人：
出光石油化学株式会社
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