特許

J-GLOBAL ID：201603008600661177

アルミニウム含有酸化物薄膜の製造方法およびアルミニウム含有酸化物薄膜

発明者： 高橋 清 ,  宮島 晋介
出願人/特許権者： 日本アルキルアルミ株式会社 ,  国立大学法人東京工業大学
代理人 (1件)： 岡本 寛之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-021329
公開番号（公開出願番号）：特開2016-141882
出願日： 2015年02月05日
公開日（公表日）： 2016年08月08日
要約：

【課題】アルミニウム含有酸化物薄膜の成膜速度の向上を図ることができるアルミニウム含有酸化物薄膜の製造方法、および、その製造方法により製造されるアルミニウム含有酸化物薄膜を提供すること。【解決手段】トリメチルアルミニウムおよびジメチルアルミニウムハイドライドを含むアルミニウム含有組成物と、酸素原子を含む酸素含有化合物とを原料として、原子層堆積法により、アルミニウム含有酸化物薄膜を成膜する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

トリメチルアルミニウムおよびジメチルアルミニウムハイドライドを含むアルミニウム含有組成物と、酸素原子を含む酸素含有化合物とを原料として、原子層堆積法により、アルミニウム含有酸化物薄膜を成膜することを特徴とする、アルミニウム含有酸化物薄膜の製造方法。

IPC (3件)：

C23C 16/40 ,  C23C 16/455 ,  H01L 21/316

FI (3件)：

C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  H01L21/316 X

Fターム (14件)：

4K030AA01 ,  4K030AA11 ,  4K030BA43 ,  4K030CA04 ,  4K030FA10 ,  4K030HA01 ,  4K030LA15 ,  4K030LA21 ,  5F058BA20 ,  5F058BC03 ,  5F058BF04 ,  5F058BF27 ,  5F058BF29 ,  5F058BF37