特許
J-GLOBAL ID：201603008789265340
感光性樹脂組成物及び硬化レリーフパターンの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 中村 和広
, 齋藤 都子
, 三間 俊介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-058027
公開番号（公開出願番号）：特開2013-190702
特許番号：特許第5999939号
出願日： 2012年03月14日
公開日（公表日）： 2013年09月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 下記一般式(1):
{式(1)中、aは、0〜3の整数であり、R1は、炭素数1〜20の1価の有機基、ハロゲン原子、ニトロ基及びシアノ基から成る群から選ばれる少なくとも1つの1価の置換基を表し、aが2又は3である場合には、複数のR1は、それぞれ同一であるか、又は異なっていてよく、そしてXは、下記一般式(10):
[式(10)中、R7、R8、R9及びR10は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜10の1価の脂肪族基、又は水素原子の一部若しくは全部がフッ素原子で置換されている炭素数1〜10の1価の脂肪族基を表し、そしてYは、単結合、フッ素原子で置換されていてもよい炭素数1〜10の鎖状脂肪族基、フッ素原子で置換されていてもよい炭素数3〜20の脂環式基、下記一般式(2):
(式(2)中、pは、1〜10の整数である。)で表されるアルキレンオキシド基、及び下記式(11):
で表される2価の基から成る群から選ばれる少なくとも1つの2価の有機基を表す。]で表される2価の基である。}で表される構造を有するフェノール樹脂(A-1)と、ノボラック樹脂又はポリヒドロキシスチレン樹脂から選択される少なくとも1つのフェノール樹脂(A-2)とを、該フェノール樹脂(A-1)/該フェノール樹脂(A-2)の質量比として10/90〜90/10で含むフェノール樹脂混合物(A):100質量部;
感光性ジアゾナフトキノン化合物(B):0.1質量部〜70質量部;及び
溶剤(C):100質量部〜1000質量部;
を含む感光性樹脂組成物であって、該感光性ジアゾナフトキノン化合物(B)は、下記一般式(3)〜(7):
{式(3)中、X1及びX2は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜60の1価の有機基を表し、X3及びX4は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜60の1価の有機基を表し、r1、r2、r3及びr4は、それぞれ独立に、0〜5の整数であり、r3及びr4の少なくとも1つは、1〜5の整数であり、r1+r3=5であり、そしてr2+r4=5である。}
{式(4)中、Zは、炭素数1〜20の4価の有機基を表し、X5、X6、X7及びX8は、それぞれ独立に、炭素数1〜30の1価の有機基を表し、r6は、0又は1の整数であり、r5、r7、r8及びr9は、それぞれ独立に、0〜3の整数であり、r10、r11、r12及びr13は、それぞれ独立に、0〜2の整数であり、そしてr10、r11、r12及びr13の少なくとも1つは、1又は2である。}
{式(5)中、r14は、1〜5の整数であり、r15は、3〜8の整数であり、(r14×r15)個のLは、それぞれ独立に、炭素数1〜20の1価の有機基を表し、(r15)個のTは、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜20の1価の有機基を表し、そして(r15)個のSは、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜20の1価の有機基を表す。}
{式(6)中、Aは、脂肪族の3級又は4級炭素を含む2価の有機基を表し、そしてMは、2価の有機基を表す。}
{式(7)中、r17、r18、r19及びr20は、それぞれ独立に、0〜2の整数であり、r17、r18、r19及びr20の少なくとも1つは、1又は2であり、X10〜X19は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アルコキシ基、アリル基及びアシル基から成る群から選択される少なくとも1つの1価の基を表し、そしてY1〜Y3は、それぞれ独立に、単結合、-O-、-S-、-SO-、-SO2-、-CO-、-CO2-、シクロペンチリデン、シクロヘキシリデン、フェニレン及び炭素数1〜20の2価の有機基から成る群から選択される少なくとも1つの2価の基を表す。}
から成る群から選択される少なくとも1つのヒドロキシ化合物の1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステル及び/又は1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホン酸エステルである、前記感光性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/023 ( 200 6.01)
, G03F 7/022 ( 200 6.01)
, C08G 8/10 ( 200 6.01)
G03F 7/023 511
, G03F 7/022 601
, C08G 8/10
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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