特許
J-GLOBAL ID：200903002469866813
ポジ型感光性絶縁樹脂組成物およびその硬化物
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
鈴木 俊一郎
, 牧村 浩次
, 高畑 ちより
, 鈴木 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-240038
公開番号（公開出願番号）：特開2007-057595
出願日： 2005年08月22日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：
【課題】 解像性、熱衝撃性、硬化収縮率、吸水率等の特性に優れた硬化物およびこの硬化物を得ることができる感光性絶縁樹脂組成物を提供すること。 【解決手段】 下記式(1)で表される構成単位を有するアルカリ可溶性樹脂(A)、キノンジアジド基を有する化合物(B)、前記アルカリ可溶性樹脂(A)と反応可能な官能基を有する化合物(C)、および溶剤(D)を含有することを特徴とするポジ型感光性絶縁樹脂組成物。 【化1】(式中、Rは、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のアルコキシ基、ハロゲン原子、または水酸基を表す。mは0〜3である。)【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
下記式(1)で表される構成単位を有するアルカリ可溶性樹脂(A)、キノンジアジド基を有する化合物(B)、前記アルカリ可溶性樹脂(A)と反応可能な官能基を有する化合物(C)、および溶剤(D)を含有することを特徴とするポジ型感光性絶縁樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/023
, G03F 7/004
, H01L 21/027
G03F7/023
, G03F7/004 501
, H01L21/30 502R
2H025AA02
, 2H025AA14
, 2H025AA20
, 2H025AB15
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025CB28
, 2H025CC03
, 2H025CC08
出願人引用 (15件)
-
パターン形成方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平3-283385
出願人：株式会社東芝
-
ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-100921
出願人：富士フイルムアーチ株式会社
-
ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-100920
出願人：富士フイルムアーチ株式会社
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る
