特許
J-GLOBAL ID:201603008923084616

エジェクター式溶射装置用のデフューザー

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 福井 豊明
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-282357
公開番号(公開出願番号):特開2014-125650
特許番号:特許第5920586号
出願日: 2012年12月26日
公開日(公表日): 2014年07月07日
請求項(抜粋):
【請求項1】 体積固有抵抗率が105Ω・cm以下であり、且つ、破壊靭性値が5MPa・m1/2以上であるセラミックスを用いたことを特徴とするエジェクター式溶射装置用のデフューザー。
IPC (1件):
C23C 4/12 ( 201 6.01)
FI (1件):
C23C 4/12
引用特許:
出願人引用 (7件)
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