特許
J-GLOBAL ID：201603009144884971
蒸着マスクの製造方法、蒸着マスクを作製するために用いられる金属板およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
永井 浩之
, 中村 行孝
, 佐藤 泰和
, 朝倉 悟
, 堀田 幸裕
, 岡村 和郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-021255
公開番号（公開出願番号）：特開2016-148111
出願日： 2016年02月05日
公開日（公表日）： 2016年08月18日
要約：
【課題】第1面上に狭い幅のレジストパターンを安定に設けることができる金属板を提供する。【解決手段】金属板の製造方法は、ニッケルを含む鉄合金からなる板材を準備する準備工程を備えている。板材から得られる金属板の第1面の組成分析を、X線光電子分光法を用いて実施した結果として得られる、ニッケル酸化物のピーク面積値とニッケル水酸化物のピーク面積値との和をA1とし、鉄酸化物のピーク面積値と鉄水酸化物のピーク面積値との和をA2とする場合、A1/A2が0.4以下になっている。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
複数の貫通孔を形成して蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の製造方法であって、
ニッケルを含む鉄合金からなる板材を準備する準備工程を備え、
前記板材から得られる前記金属板の第1面の組成分析を、X線光電子分光法を用いて実施した結果として得られる、ニッケル酸化物のピーク面積値とニッケル水酸化物のピーク面積値との和をA1とし、鉄酸化物のピーク面積値と鉄水酸化物のピーク面積値との和をA2とする場合、A1/A2が0.4以下であり、
X線光電子分光法を用いた前記金属板の前記第1面の組成分析において、前記金属板へ照射されるX線の、前記第1面に対する入射角が45度であり、前記金属板から放出される光電子の取り込み角が90度である、金属板の製造方法。
IPC (4件)：
C21D 1/76
, C23C 14/04
, C23C 18/32
, C23F 1/02
C21D1/76 G
, C23C14/04 A
, C23C18/32
, C23F1/02
4K022AA02
, 4K022BA09
, 4K022BA14
, 4K022DA01
, 4K022EA01
, 4K022EA04
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029CA01
, 4K029HA02
, 4K029HA03
, 4K057WA20
, 4K057WB01
, 4K057WD07
, 4K057WE08
, 4K057WK10
, 4K057WN01
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (12件)
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