特許
J-GLOBAL ID：201603009607824507
荷電粒子線装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
井上 学
, 戸田 裕二
, 岩崎 重美
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-144901
公開番号（公開出願番号）：特開2014-010928
特許番号：特許第6002470号
出願日： 2012年06月28日
公開日（公表日）： 2014年01月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 荷電粒子源から放出される荷電粒子ビームを偏向する偏向器と、前記荷電粒子ビームの走査によって得られる荷電粒子を検出する検出器を備えた荷電粒子線装置において、
試料から放出された荷電粒子を偏向する第1の直交電磁界発生器と、当該第1の直交電磁界発生器によって偏向された前記荷電粒子を更に偏向する第2の直交電磁界発生器と、前記荷電粒子ビームの通過開口を有する開口形成部材と、当該開口形成部材を通過した前記荷電粒子を偏向する第3の直交電磁界発生器と、前記偏向器の偏向信号に連動して、前記試料から放出された荷電粒子が、前記荷電粒子ビームの光軸に向かうように前記第1の直交電磁界発生器を制御すると共に、当該第1の直交電磁界発生器によって偏向された荷電粒子を、前記通過開口に向かうように前記第2の直交電磁界発生器を制御する制御装置を備え、前記検出器は、前記試料から放出され、前記通過開口を通過した荷電粒子、或いは当該荷電粒子が発生させる荷電粒子を検出することを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (5件)：
H01J 37/147 ( 200 6.01)
, H01J 37/244 ( 200 6.01)
, H01J 37/153 ( 200 6.01)
, H01J 37/05 ( 200 6.01)
, H01J 37/29 ( 200 6.01)
H01J 37/147 B
, H01J 37/244
, H01J 37/153 B
, H01J 37/05
, H01J 37/29
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (8件)
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