特許
J-GLOBAL ID：200903047501544002

電子顕微鏡システム及び電子顕微鏡法

発明者：
キッペルマイヤー、ライナー

キッペルマイヤー、ライナー について


出願人/特許権者：
エルエーオー エレクトローネンミクロスコピー ゲーエムベーハー

エルエーオー エレクトローネンミクロスコピー ゲーエムベーハー について


代理人 (1件)： 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-289955
公開番号（公開出願番号）：特開2004-134387
出願日： 2003年08月08日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：
【課題】 検査された物体上の付加情報を得ることが可能な、電子顕微鏡及びその操作方法を提供する。【解決手段】 走査型電子顕微鏡であって、一次電子ビーム11を生成するための電子源24と、一次電子ビームを実質的に物体面内の焦点に集束して、一次電子ビームスポット35を形成するための対物レンズを備えた一次電子光学機器17と、電子強度を検出するための電子検出器15と、対物レンズ29から成り、焦点の周辺領域から発生する二次電子を二次電子ビームとして検出器に伝達する機能を果たす二次電子光学機器19とを備える。【選択図】 図1a
請求項（抜粋）：
電子顕微鏡システムの物体面(7)内に配置可能な物体を検査するための電子顕微鏡システムであって、 一次電子ビーム(11)を生成するための電子源(24)と、 前記一次電子ビームを集束して、実質的に前記物体面内の点スポットである一次電子ビームスポット(35)を形成するための対物レンズ(29)を備えた一次電子光学機器(17)と、 電子強度を検出するための、二次元的位置感度検出器である電子検出器(15)と、 前記物体面の前記一次電子ビームスポットの周辺領域から二次電子ビームとして発生する二次電子を前記電子検出器に伝達するための、前記対物レンズを備えた二次電子光学機器(19)とを含むシステム。
IPC (3件)：
H01J37/29 ,  H01J37/05 ,  H01J37/244
FI (3件)：
H01J37/29 ,  H01J37/05 ,  H01J37/244
Fターム (4件)：
5C033NN02 ,  5C033NP04 ,  5C033NP05 ,  5C033SS08
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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