形状測定装置、形状測定方法および形状測定プログラム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福島祥人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-199987
公開番号（公開出願番号）：特開2014-055815
特許番号：特許第6004851号
出願日： 2012年09月11日
公開日（公表日）： 2014年03月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】測定対象物が載置されるステージと、前記ステージに載置された測定対象物に斜め上方から光を照射するように構成される投光部と、前記ステージの上方に配置され、測定対象物により反射された光を受光し、受光量を示す受光信号を出力するように構成される受光部と、前記受光部により出力された受光信号に基づいて、測定対象物の画像を表示するための画像データを生成するとともに、三角測距方式により測定対象物の立体形状を示す立体形状データを生成するように構成されるデータ生成部と、前記データ生成部により生成された画像データまたは立体形状データに基づいて、測定対象物の画像を表示するように構成される表示部と、測定条件選択時に、異なる複数の測定条件でそれぞれ複数の画像データまたは複数の立体形状データが生成されるように前記投光部、前記受光部および前記データ生成部を制御し、前記データ生成部により生成された複数の画像データまたは複数の立体形状データに基づいて、前記複数の測定条件で実行される形状測定において生じる測定対象物の測定困難領域をそれぞれ推定し、前記複数の測定条件に対応して推定された測定困難領域を認識可能に、前記複数の測定条件にそれぞれ対応する測定対象物の複数の画像を表示するように前記表示部を制御する制御部と、測定条件選択時に、前記表示部に表示された前記複数の画像に基づいて前記複数の測定条件のいずれかを選択するために使用者により操作される操作部とを備え、前記複数の測定条件においては、前記投光部により照射される光のパターンおよび前記投光部により照射される光の方向の少なくとも一方が異なり、前記制御部は、形状測定時に、前記操作部の操作により選択された測定条件で立体形状データが生成されるように前記投光部、前記受光部および前記データ生成部を制御する、形状測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/25 ( 200 6.01) , G01B 11/24 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01B 11/25 H , G01B 11/24 K

引用特許：

審査官引用 (3件)

3次元計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-157069 出願人：ミノルタ株式会社
撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-216754 出願人：HOYA株式会社
カメラ装置、及び撮影条件設定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-009889 出願人：カシオ計算機株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

キーエンスデジタルマイクロスコープ VHX-2000 ユーザーズマニュアル, 20120601, 第7-9〜7-10ページ

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