特許
J-GLOBAL ID：201603009982516984
位置検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
小池 晃
, 伊賀 誠司
, 藤井 稔也
, 野口 信博
, 祐成 篤哉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-062044
公開番号（公開出願番号）：特開2013-195205
特許番号：特許第5936399号
出願日： 2012年03月19日
公開日（公表日）： 2013年09月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 測定光を出射する光源と、
前記光源から出射された測定光を被測定部材に入射させる物体光となる第1の光束と、参照光となる第2の光束に分割する光束分割部と、
前記光束分割部によって分割され、かつ前記被測定部材の被測定面によって反射された前記第1の光束を回折し、回折した前記第1の光束を再び前記被測定部材の被測定面に入射させる回折格子と、
前記光束分割部によって分割された前記第2の光束を反射する反射部と、
前記光束分割部によって分割された第1の光束と第2の光束の少なくとも一方の光路長を調整する光路長調整手段と、
前記回折格子によって回折され、かつ前記被測定面によって再び反射された前記第1の光束と、前記反射部によって反射された前記第2の光束を重ね合わせる光束結合部と、 前記光束結合部により重ね合わされた前記第1の光束及び前記第2の光束の干渉光を受光する受光部と、
前記受光部により受光した干渉光強度に基づいて前記被測定面の高さ方向の変位情報を出力する相対位置情報出力手段と、
を備え、
前記回折格子の格子ベクトルは、前記被測定部材の被測定面に対して略直角に配置され、前記被測定部材が高さ方向に変位しても、前記第1の光束の光路長が常に一定の距離に保たれることを特徴とする変位検出装置。
IPC (2件)：
G01B 9/02 ( 200 6.01)
, G01B 11/00 ( 200 6.01)
