特許
J-GLOBAL ID:201603010221089916

セリア含有廃研磨材の再生方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-531850
特許番号:特許第5943529号
出願日: 2013年09月11日
請求項(抜粋):
【請求項1】 セリア(CeO2)含有廃スラッジを強塩基およびフッ酸を混合した溶解剤溶液に溶解させる段階と、 前記セリア含有廃スラッジを洗浄してシリカ(SiO2)含有不純物を除去する段階と、 前記洗浄されたセリア含有廃スラッジを1〜10rpmのCD乾燥機(Compact Disc dreyer)で1〜30秒間乾燥する段階と、 アンモニウム塩、アルカリ金属塩、金属酸化物、金属酸素酸、またはアルカリ土類金属塩を含むフラックスの存在下、前記廃スラッジを800°C以上の温度で焼成する段階とを含むことを特徴とする、セリア含有廃研磨材の再生方法。
IPC (5件):
B24B 57/00 ( 200 6.01) ,  B24B 37/00 ( 201 2.01) ,  B09B 3/00 ( 200 6.01) ,  C02F 11/00 ( 200 6.01) ,  C02F 11/12 ( 200 6.01)
FI (8件):
B24B 57/00 ZAB ,  B24B 37/00 H ,  B09B 3/00 Z ,  C02F 11/00 M ,  C02F 11/12 B ,  B09B 3/00 303 A ,  B09B 3/00 304 J ,  C02F 11/00 C
引用特許:
審査官引用 (4件)
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