圧力センサ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：井上学 , 戸田裕二 , 岩崎重美
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-257034
公開番号（公開出願番号）：特開2014-106013
特許番号：特許第5883771号
出願日： 2012年11月26日
公開日（公表日）： 2014年06月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】長手と短手を有する形状のダイアフラムを有する金属製の筐体と、前記金属製の筐体上に設けられ、4つの歪ゲージを有するセンサチップと、を有し、前記4つの歪ゲージは前記センサチップの中央部に設けられており、前記4つの歪ゲージのうち2つが第一の方向に沿って配置されており、残りの2つが第一の方向とは垂直な第二の方向に沿って配置されており、前記第一の方向と前記ダイアフラムの長手方向が沿い、かつ、前記4つの歪ゲージがダイアフラムの中央部に位置するように前記センサチップは前記筐体上に設けられており、前記センサチップの第一の方向に沿う辺は、前記ダイアフラムの長手方向の長さよりも短く、前記センサチップの第二の方向に沿う辺は、前記ダイアフラムの中央付近における短手方向の長さよりも長いことを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/00 ( 200 6.01) , H01L 29/84 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01L 9/00 303 D , H01L 29/84 B , H01L 29/84 A

引用特許：

出願人引用 (5件)

ピエゾ抵抗型圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-176855 出願人：キヤノン株式会社
圧力検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-157915 出願人：株式会社デンソー
圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-159627 出願人：株式会社東海理化電機製作所

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審査官引用 (5件)

特開平1-211986
ピエゾ抵抗型圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-176855 出願人：キヤノン株式会社
ピエゾ型圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-050773 出願人：矢崎総業株式会社

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