検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤本芳洋
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-068626
公開番号（公開出願番号）：特開2013-200205
特許番号：特許第6025358号
出願日： 2012年03月26日
公開日（公表日）： 2013年10月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】水平面上に立設される壁部を有する定盤部と、前記定盤部の前記壁部に対して固定され、平板状の検査対象物を鉛直方向に対して所定の角度傾斜した状態で載置するテーブル部と、前記テーブル部の上下において平行に設置されたガイドレールと、前記検査対象物に沿って前記ガイドレールの延びる方向にスライド可能なフレームと、前記検査対象物に沿って前記フレームの長手方向にスライド可能な顕微鏡とを備えることを特徴とする検査装置。

IPC (2件)：