特許
J-GLOBAL ID：201603010659201468
振動片およびその製造方法並びにジャイロセンサーおよび電子機器および移動体
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
井上 一
, 竹腰 昇
, 黒田 泰
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-074795
公開番号（公開出願番号）：特開2013-205237
特許番号：特許第6007541号
出願日： 2012年03月28日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 少なくとも一部に圧電体を含む基部と、
前記基部から延びている駆動用振動腕および検出用振動腕と、
前記検出用振動腕に設けられており、前記検出用振動腕の漏れ振動の出力信号が取り出される電極と、
前記電極に接続され、前記基部の前記圧電体に配置されている配線と、
を備え、
前記配線は、前記検出用振動腕の漏れ振動の出力信号に対して逆位相の電気信号を出力する調整用電極を含んでいることを特徴とする振動片。
IPC (8件)：
G01C 19/5614 ( 201 2.01)
, H03H 9/02 ( 200 6.01)
, H03H 9/19 ( 200 6.01)
, G01C 19/5628 ( 201 2.01)
, H01L 41/09 ( 200 6.01)
, H01L 41/08 ( 200 6.01)
, H01L 41/18 ( 200 6.01)
, H01L 41/187 ( 200 6.01)
G01C 19/561
, H03H 9/02 K
, H03H 9/19 A
, G01C 19/562
, H01L 41/08 C
, H01L 41/08 Z
, H01L 41/18 101 A
, H01L 41/18 101 D
, H01L 41/18 101 B
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (3件)
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