特許
J-GLOBAL ID：200903088778827018
角速度センサの調整方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
足立 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-075734
公開番号（公開出願番号）：特開平10-325728
出願日： 1998年03月24日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：
【要約】【課題】 振動子を駆動軸方向に振動させた際に生じる検出軸方向の不要振動を確実に抑制して、角速度センサのオフセット温度ドリフトを低減する。【解決手段】 音叉形状の振動子2を備えた角速度センサにおいて、駆動電極12a,12bに夫々位相の反転した駆動信号を入力して、振動子2を振動させる。駆動信号の周波数は、角速度検出時に振動子2を励振する駆動軸方向の共振周波数ではなく、駆動軸に直交する検出軸方向の共振周波数である。そして検出電極22bに流れる電流を電流-電圧変換回路44を用いて検出し、その検出信号と駆動信号とをオシロスコープ46に表示し、各信号の位相差からトリミングすべき振動子2の稜線を決定して、その稜線を、検出信号の振幅が零(又は所定しきい値)になるまでトリミングする。この結果、角速度検出時に生じる検出軸方向の不要振動を抑制して、オフセット温度ドリフトを低減できる。
請求項（抜粋）：
角柱状に形成された振動部を有する振動子と、外部から入力される駆動信号により、前記振動子を、前記振動部の長手方向の中心軸に直交した駆動軸方向に励振する駆動手段と、前記振動部において前記駆動軸に直交した検出軸方向に生じる振動を検出する検出手段とを備えた角速度センサにおいて、前記駆動手段による前記振動子の励振時に前記検出軸方向に生じる前記振動部の不要振動を抑えるために、前記振動子の振動特性を調整する調整方法であって、前記振動部の前記検出軸方向の共振周波数に対応した交流電圧を前記駆動信号として前記駆動手段に入力することにより前記振動子を振動させ、そのとき前記検出手段にて得られる検出信号の振幅が小さくなるように、前記振動子の振動特性を調整することを特徴とする角速度センサの調整方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
