特許
J-GLOBAL ID:201603010760042370

表面応力測定方法、表面応力測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-017821
公開番号(公開出願番号):特開2016-142600
出願日: 2015年01月30日
公開日(公表日): 2016年08月08日
要約:
【課題】強化ガラスの表面層の応力分布を非破壊で測定することが可能な表面応力測定方法を提供する。【解決手段】本表面応力測定方法は、光源からの光を、被測定体である強化ガラスの少なくとも圧縮応力層を有する表面層内に入射させる光供給工程と、前記表面層内を伝播した光を、光取出し部材を介して、前記強化ガラスの外へ出射させる光取出し工程と、前記強化ガラスの外へ出射した光に含まれる、前記強化ガラスと前記光取出し部材との境界面に対して平行及び垂直に振動する二種の光成分を、夫々が3本以上の輝線を有する二種の輝線列に変換する光変換工程と、前記二種の輝線列を撮像する撮像工程と、前記撮像工程で得られた画像から前記二種の輝線列の夫々の3本以上の輝線の位置を測定する位置測定工程と、前記位置測定工程での測定結果に基づいて、前記二種の光成分に対応した前記強化ガラスの表面から深さ方向の屈折率分布を算出する屈折率分布算出工程と、を有する。【選択図】図7
請求項(抜粋):
光源からの光を、被測定体である強化ガラスの少なくとも圧縮応力層を有する表面層内に入射させる光供給工程と、 前記表面層内を伝播した光を、光取出し部材を介して、前記強化ガラスの外へ出射させる光取出し工程と、 前記強化ガラスの外へ出射した光に含まれる、前記強化ガラスと前記光取出し部材との境界面に対して平行及び垂直に振動する二種の光成分を、夫々が3本以上の輝線を有する二種の輝線列に変換する光変換工程と、 前記二種の輝線列を撮像する撮像工程と、 前記撮像工程で得られた画像から前記二種の輝線列の夫々の3本以上の輝線の位置を測定する位置測定工程と、 前記位置測定工程での測定結果に基づいて、前記二種の光成分に対応した前記強化ガラスの表面から深さ方向の屈折率分布を算出する屈折率分布算出工程と、を有する表面応力測定方法。
IPC (2件):
G01L 1/00 ,  C03C 21/00
FI (3件):
G01L1/00 B ,  G01L1/00 G ,  C03C21/00 101
Fターム (9件):
4G059AA08 ,  4G059AB17 ,  4G059AC16 ,  4G059HB03 ,  4G059HB13 ,  4G059HB14 ,  4G059HB23 ,  4G059HB24 ,  4G059HB25
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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引用文献:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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