特許
J-GLOBAL ID：201603010776532750

研削装置

発明者：
山端 一郎

山端 一郎 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (5件)： 青木 宏義 ,  天田 昌行 ,  岡田 喜雅 ,  菅野 亨 ,  溝口 勉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-200513
公開番号（公開出願番号）：特開2014-054694
特許番号：特許第5992270号
出願日： 2012年09月12日
公開日（公表日）： 2014年03月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 円盤状ワークの外周部に凹部が形成されたウエーハで、該凹部の深さはウエーハの仕上げ厚み以上で、該凹部が形成された面側を吸引して保持させる保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルの中心を軸に回転させるチャック回転手段と、研削砥石を環状に配置させた研削ホイールを回転可能に装着させ該チャックテーブルが保持するウエーハを研削する研削手段と、 から少なくとも構成される研削装置であって、 該ウエーハの該外周部を押圧させる押圧ローラと、該押圧ローラを該ウエーハの該外周部に接近および離反させると共に該押圧ローラの側面をウエーハの該外周部に押圧させる押圧部と、該押圧ローラの中心軸を回転軸として回転可能に支持する支持部と、を備え、 該押圧部によって該押圧ローラの側面をウエーハの外周部に押圧させた状態で、該チャックテーブルを該チャック回転手段で回転させ、該押圧ローラがウエーハの該外周部を粉砕させることを特徴とする研削装置。
IPC (4件)：
B24B 7/22 ( 200 6.01) ,  B24B 7/04 ( 200 6.01) ,  B24B 9/00 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01)
FI (4件)：
B24B 7/22 Z ,  B24B 7/04 A ,  B24B 9/00 601 H ,  H01L 21/304 601 B
引用特許：
出願人引用 (4件)
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