特許
J-GLOBAL ID：201603010794229097
積層体の製造方法、および積層体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-521516
特許番号：特許第5907168号
出願日： 2012年06月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板と、該基板を補強する補強板とを有し、該補強板が前記基板に剥離可能に結合する樹脂層および該樹脂層を介して前記基板を支持する支持板を有する積層体ブロックの側縁部を面取り加工することにより積層体を得る、積層体の製造方法であって、
前記積層体ブロックの側縁部を円板状又は円筒状の回転する砥石で研削する研削工程を有し、
該研削工程において、前記砥石の研削面は、前記樹脂層と前記基板との界面、および、前記樹脂層と前記支持板との界面に対し、斜めに当接される積層体の製造方法。
IPC (2件)：
B24B 9/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
B24B 9/00 601 B
, H01L 21/304 601 B
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る
