変位検出方式の6軸力センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：青木篤 , 島田哲郎 , 三橋真二 , 廣瀬繁樹 , 前島一夫 , 田原正宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-201822
公開番号（公開出願番号）：特開2016-070824
出願日： 2014年09月30日
公開日（公表日）： 2016年05月09日
要約：

【課題】変位検出方式の6軸力センサにおいて、6軸それぞれの変位量を高精度に検出可能な構造を有する一方で、製造コストを低減できるようにする。【解決手段】6軸力センサ10は、固定部12と、第1可動部14と、直交3軸座標系16において、第1可動部14を固定部12に対し、X軸に平行な方向、Y軸に平行な方向、及びZ軸を中心とする回転方向へ、弾性的に変位可能に連結する第1連結部18と、第2可動部20と、直交3軸座標系16において、第2可動部20を第1可動部14に対し、X軸を中心とする回転方向、Y軸を中心とする回転方向、及びZ軸に平行な方向へ、弾性的に変位可能に連結する第2連結部22と、固定部12に対する第1可動部14の変位量を検出する第1検出部24と、第1可動部14に対する第2可動部20の変位量を検出する第2検出部26とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

固定部と、第1可動部と、直交3軸座標系において、前記第1可動部を前記固定部に対し、第1軸に平行な方向、該第1軸に直交する第2軸に平行な方向、及び該第1軸と該第2軸との双方に直交する第3軸を中心とする回転方向へ、弾性的に変位可能に連結する第1連結部と、第2可動部と、前記直交3軸座標系において、前記第2可動部を前記第1可動部に対し、前記第1軸を中心とする回転方向、前記第2軸を中心とする回転方向、及び前記第3軸に平行な方向へ、弾性的に変位可能に連結する第2連結部と、前記固定部に対する前記第1可動部の変位量を検出する第1検出部と、前記第1可動部に対する前記第2可動部の変位量を検出する第2検出部とを具備し、前記第1検出部による検出値及び前記第2検出部による検出値から、前記第2可動部に加わる力の、前記第1軸の方向の力成分、前記第2軸の方向の力成分、前記第3軸の方向の力成分、前記第1軸の周りのモーメント成分、前記第2軸の周りのモーメント成分、及び前記第3軸の周りのモーメント成分を検出できるようにした、 6軸力センサ。

IPC (1件)：

G01L 5/16

FI (1件)：

G01L5/16

Fターム (4件)：

2F051AA10 , 2F051AB06 , 2F051DA03 , 2F051DB03

引用特許：

出願人引用 (9件)

力検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-096168 出願人：株式会社ワコー
磁気式力覚センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2012-260531 出願人：キヤノン株式会社
磁気式力覚センサ及びロボット装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2012-236796 出願人：キヤノン株式会社

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審査官引用 (2件)

特開平1-119731
力検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-096168 出願人：株式会社ワコー

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