特許
J-GLOBAL ID：200903025936432741

力検出装置

発明者：
岡田 和廣

岡田 和廣 について


出願人/特許権者：
株式会社ワコー

株式会社ワコー について


代理人 (1件)： 志村 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-096168
公開番号（公開出願番号）：特開2004-301731
出願日： 2003年03月31日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：
【課題】単純な構造により、力とモーメントとを区別して検出する。【解決手段】絶縁性基板200の上に金属からなる外側箱状構造体100を被せ、中に絶縁性の内側箱状構造体300を収容する。箱状構造体300の天板330には、5枚の電極E1〜E5を配置する(E3は紙面裏側、E4は手前側)。箱状構造体300の4側面には、電極E6〜E9を配置する(E8は紙面裏側、E9は手前側)。電極E1〜E5と天板130により容量素子C1〜C5を、電極E6〜E9と側面板141〜144により容量素子C6〜C9を構成する。C6,C7の容量差によりX軸方向の力Fx、C8,C9の容量差によりY軸方向の力Fy、C5の容量によりZ軸方向の力Fz、C1,C2の容量差によりY軸まわりのモーメントMy、C3,C4の容量差によりX軸まわりのモーメントMxを検出する。【選択図】 図19
請求項（抜粋）：
XYZ三次元座標系においてXY平面に平行な上面を有する基板と、 X軸の正の部分と交差する平面に沿うように配置され、前記基板上に変位可能となるように支持された第1の変位板と、 X軸の負の部分と交差する平面に沿うように配置され、前記基板上に変位可能となるように支持された第2の変位板と、 Z軸と前記第1の変位板との間に配置され、前記基板上に固定された第1の固定板と、 Z軸と前記第2の変位板との間に配置され、前記基板上に固定された第2の固定板と、 前記第1の固定板の上辺付近と前記第2の固定板の上辺付近との間に架かる平面に沿うように配置され、前記基板上に固定された固定天板と、 前記固定天板の上方に配置され、前記基板に対して変位可能となるように支持され、前記第1の変位板の上辺および前記第2の変位板の上辺に対して、XY平面に沿った方向の力を伝達する変位天板と、 検出対象となる力を受けるために、前記変位天板の上方のZ軸上に配置された受力体と、 前記受力体と前記変位天板とを接続するようにZ軸に沿って配置された連結体と、 前記第1の変位板と前記第1の固定板との距離を検出する第1のX軸距離センサと、 前記第2の変位板と前記第2の固定板との距離を検出する第2のX軸距離センサと、 前記変位天板の前記固定天板に対する傾斜度を検出する傾斜度センサと、 前記第1のX軸距離センサの検出値と前記第2のX軸距離センサの検出値との差に基づいて、前記受力体に作用したX軸方向の力Fxを検出し、前記傾斜度センサのX軸方向に関する傾斜度の検出値に基づいて、前記受力体に作用したY軸まわりのモーメントMyを検出する検出処理部と、 を備えることを特徴とする力検出装置。
IPC (2件)：
G01L5/16 ,  G01L1/14
FI (2件)：
G01L5/16 ,  G01L1/14 A
Fターム (6件)：
2F051AA10 ,  2F051AA21 ,  2F051AB06 ,  2F051BA03 ,  2F051DA03 ,  2F051DB03
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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