特許

J-GLOBAL ID：201603010995706802

走査型顕微鏡

発明者： 冨岡 貞祐
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 保坂 丈世
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-002765
公開番号（公開出願番号）：特開2013-142768
特許番号：特許第5929204号
出願日： 2012年01月11日
公開日（公表日）： 2013年07月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 光源から放射された照明光を集光して試料に照射するとともに、前記試料から出射した光を集光する対物レンズと、 前記対物レンズの瞳像を投影する瞳投影レンズと、 前記対物レンズ及び前記瞳投影レンズの光軸と略直交する面内の第1の方向に回転する第1の偏向素子、及び、前記光軸と略直交する面内の前記第1の方向と略直交する第2の方向に回転する第2の偏向素子を有し、前記第1の偏向素子及び前記第2の偏向素子を用いて前記照明光により前記試料を走査する走査ユニットと、 前記第1の方向及び前記第2の方向で異なる屈折力を有し、前記光軸及び前記第1の方向を含む第1の面内における前記瞳像と前記光軸及び前記第2の方向を含む第2の面内における前記瞳像とをそれぞれ光軸方向の異なる位置に形成する瞳位置調整光学系と、を有し、 前記第1の方向及び前記第2の方向における屈折力のうち、少なくとも一方は負の値であり、 前記走査ユニットの前記第1の偏向素子は前記第1の面内の前記瞳像と略同一位置に前記回転の中心が位置するように配置され、前記走査ユニットの前記第2の偏向素子は前記第2の面内の前記瞳像と略同一の位置に前記回転の中心が位置するように配置されることを特徴とする走査型顕微鏡。

IPC (2件)：

G02B 21/06 ( 200 6.01) ,  G02B 3/06 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G02B 21/06 ,  G02B 3/06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-219919
  
• 接眼光学系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-094119   出願人：キヤノン株式会社