特許

J-GLOBAL ID：201603011067587262

X線発生装置のターゲット及びその製造方法並びにX線発生装置

発明者： 表 和彦 ,  清水 一明 ,  大坂 尚久
出願人/特許権者： 株式会社リガク
代理人 (3件)： 福岡 昌浩 ,  奥山 知洋 ,  阿部 廣美
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-071866
公開番号（公開出願番号）：特開2013-206601
特許番号：特許第5936895号
出願日： 2012年03月27日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 X線発生装置の内部に配置されて加速された電子が照射されることでX線を発生するX線発生装置のターゲットであって、 導電性材料で構成され、開口部を備えた筒状をなし、その上端部に筒内径より大径の部位が設けられて段差状に形成されたホルダ部と、 前記ホルダ部の上端部に形成された段差の高さと同じ厚さに形成され、該段差を構成する上端面上に配置されて前記開口部を塞ぐように気密に接合されたダイヤモンド板と、 前記ダイヤモンド板の表面に設けられた薄膜ターゲットとを備え、 前記薄膜ターゲットはその外周部が少なくとも前記ホルダ部の最上端面に至るまでそのまま延長して設けられて前記ホルダ部に電気的に接続されたものであり、 前記ホルダ部はX線発生装置の電源に電気的に接続されるように構成されたものであり、 前記ダイヤモンド板は、前記薄膜ターゲットが形成された側が真空雰囲気に配置され、前記薄膜ターゲットが形成された側と反対側が冷媒に熱的に接触されて冷却される側に配置されるようにX線発生装置に組み込まれるものであることを特徴とするX線発生装置のターゲット。

IPC (1件)：

H01J 35/08 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01J 35/08 C ,  H01J 35/08 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• X線装置用電極
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-261566   出願人：クレイトスアナリティカルリミテッド
• 玉およびころ軸受とその要素
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-335722   出願人：ジェローム・エイチ・レメルソン