特許
J-GLOBAL ID：201603011271747929
単結晶引き上げ方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
鷲頭 光宏
, 緒方 和文
, 黒瀬 泰之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-091068
公開番号（公開出願番号）：特開2013-216556
特許番号：特許第5924090号
出願日： 2012年04月12日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 チョクラルスキー法により引き上げられる単結晶とルツボ内に収容された原料融液との境界を形成するメニスカス部の画像を撮像し、
撮像した画像の輝度分布に基づき前記メニスカス部に表れるフュージョンリングを検出し、前記フュージョンリングの位置に基づいて前記融液の液面位置を算出し、
算出された前記液面位置に基づいて、前記融液を収容するルツボの高さ位置を制御すると共に、前記単結晶の周囲を囲繞するように前記ルツボの上方に配置した筒状の熱遮蔽体の下端と前記液面との間隔を調整する単結晶引き上げ方法において、
前記ルツボの周囲に設けられたヒータからの光が前記メニスカス部に映り込む第1の期間において、第1の参照値を用いて前記フュージョンリングを検出し、
前記ルツボの周囲に設けられたヒータからの光が前記メニスカス部に映り込まない第2の期間において、前記第1の参照値よりも大きな第2の参照値を用いて前記フュージョンリングを検出することを特徴とする単結晶引き上げ方法。
IPC (2件)：
C30B 15/22 ( 200 6.01)
, C30B 15/26 ( 200 6.01)
出願人引用 (8件)
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特開昭64-037494
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特開昭63-100097
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単結晶の直径測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-127260
出願人：東海カーボン株式会社
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