特許
J-GLOBAL ID：201603011276937831

荷電粒子線顕微鏡、荷電粒子線顕微鏡用試料ホルダ及び荷電粒子線顕微方法

発明者：
常田 るり子

常田 るり子 について

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菊池 秀樹

菊池 秀樹 について

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鹿島 秀夫

鹿島 秀夫 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (3件)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-009554
公開番号（公開出願番号）：特開2013-149507
特許番号：特許第5883658号
出願日： 2012年01月20日
公開日（公表日）： 2013年08月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 先端部に試料を取り付ける取付部を有する試料取付台と、 前記試料取付台を保持する取付台保持部を有する回転冶具と、 前記回転冶具を保持する保持部を有する試料保持棒と、 前記保持棒の延在方向を軸として-180°から+180°の第1の回転を前記試料保持棒に与える第1の回転制御部と、 前記第1の回転の回転軸に直交する方向を軸として±45度以上の第2の回転を前記回転冶具に与える第2の回転制御部と、を有し、 前記試料取付台は円錐状または多角錐状の形状であり、 前記試料保持棒は、前記第1の回転軸及び第2の回転の回転軸のそれぞれに直交する軸の方向に前記回転冶具を移動させる回転冶具移動部を有することを特徴とする荷電粒子線顕微鏡用試料ホルダ。
IPC (2件)：
H01J 37/20 ( 200 6.01) ,  H01J 37/26 ( 200 6.01)
FI (3件)：
H01J 37/20 C ,  H01J 37/20 A ,  H01J 37/26
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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