特許
J-GLOBAL ID：201603012376523704

形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、プログラム、及び記録媒体

発明者：
山田 智明

山田 智明 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (2件)： 川北 喜十郎 ,  藤田 正広
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-538079
特許番号：特許第5858167号
出願日： 2012年10月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 物体の形状を測定する形状測定装置であって、 第1期間において、時間経過に伴い光量を変化させ、かつ所定の空間分布を有する投影光を、物体に照射する光源装置と、 前記投影光が照射されている前記物体を撮像する撮像素子と、 前記第1期間の少なくとも一部であって、前記光量を変化させている期間を含む第2期間を設定する第2期間設定部と、 前記第2期間にわたって前記撮像素子により撮像された画像データに基づき、前記物体の形状に関する情報を取得する形状情報取得部とを備え、 前記第2期間設定部は、前記第2期間で撮像するよりも前の期間で行われる撮像時に前記撮像素子に入射する光の光量と、前記第1期間における前記投影光の時間経過に伴う前記光量を変化させたときのパターンに基づいて、前記第2期間を設定するように構成される 形状測定装置。
IPC (1件)：
G01B 11/25 ( 200 6.01)
FI (1件)：
G01B 11/25 H
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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