特許
J-GLOBAL ID：201603012599031056

光照射装置

発明者：
廣瀬 賢一

廣瀬 賢一 について

, 
村上 哲也

村上 哲也 について


出願人/特許権者：
ウシオ電機株式会社

ウシオ電機株式会社 について


代理人 (1件)： 大井 正彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-266563
公開番号（公開出願番号）：特開2014-209548
特許番号：特許第5861696号
出願日： 2013年12月25日
公開日（公表日）： 2014年11月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 酸素雰囲気下に配置される被処理物に対して真空紫外光を出射する紫外線出射ランプと、前記被処理物と前記紫外線出射ランプとの間に配置された、当該紫外線出射ランプからの真空紫外光を透過する光透過窓とを備えた光照射装置において、 前記光透過窓が被処理物押さえ用スペーサを介して前記被処理物の被処理面に対して押圧状態で当接されて配置されて、当該光透過窓の光出射側の表面と当該被処理物の被処理面との間の距離が一定の大きさとされる間隙が形成されることを特徴とする光照射装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  F21S 2/00 ( 201 6.01) ,  H05K 3/26 ( 200 6.01) ,  F21Y 103/00 ( 201 6.01)
FI (6件)：
H01L 21/30 572 A ,  H01L 21/30 527 ,  G03F 7/20 501 ,  F21S 2/00 390 ,  H05K 3/26 B ,  F21Y 103:00
引用特許：
出願人引用 (8件)
全件表示
審査官引用 (8件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM