成膜処理方法および薄膜付物品の製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：矢作和行 , 野々部泰平 , 久保貴則
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-261394
公開番号（公開出願番号）：特開2014-105377
特許番号：特許第5987657号
出願日： 2012年11月29日
公開日（公表日）： 2014年06月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被成膜体の表面に、あらかじめ決定された形状に加工された成膜源の原子が前記あらかじめ決定された形状の成膜部として成膜される成膜処理方法であって、前記被成膜体が前記成膜源に少なくとも一部が接触して配置され、真空中で、前記被成膜体が前記成膜源に接触して配置され、かつ誘導加熱装置によって、前記成膜源の融点以下の温度で加熱し、前記被成膜体の表面に前記成膜源の原子を移動させて、前記被成膜体の表面に前記あらかじめ決定された形状の前記成膜部が形成されることを特徴とする成膜処理方法。

IPC (1件)：