特許
J-GLOBAL ID：201603012927547235
測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
森下 賢樹
, 村田 雄祐
, 三木 友由
, 真家 大樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-242023
公開番号（公開出願番号）：特開2016-102750
出願日： 2014年11月28日
公開日（公表日）： 2016年06月02日
要約：
【課題】ノイズの影響を低減して高精度に電流を検出する。【解決手段】被試験デバイス20に流れる電流信号IDUTを測定する測定装置1が提供される。トランスインピーダンスアンプ110は、電流信号IDUTを電圧信号VOUTに変換する。デジタイザ114は、電圧信号VOUTをデジタルデータDOUTに変換する。デジタル信号処理部116は、デジタルデータDOUTを信号処理するとともに、測定装置1を制御する。測定装置1は、測定時に被試験デバイス20に近接するプローブモジュール2と、プローブモジュール2と少なくとも一本のケーブル8を介して接続されるバックエンドモジュール4に分離して構成される。トランスインピーダンスアンプ110は、プローブモジュール2に内蔵される。デジタイザ114およびデジタル信号処理部116は、バックエンドモジュール4に内蔵される。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
被試験デバイスに流れる電流信号を測定する測定装置であって、
前記電流信号を電圧信号に変換するトランスインピーダンスアンプと、
前記電圧信号を第1デジタルデータに変換するデジタイザと、
前記第1デジタルデータを信号処理するとともに、前記測定装置を制御するデジタル信号処理部と、
を備え、
測定時に前記被試験デバイスに近接する第1モジュールと、前記第1モジュールと少なくとも一本のケーブルを介して接続される第2モジュールに分離して構成され、
前記トランスインピーダンスアンプは、前記第1モジュールに内蔵され、
前記デジタイザおよび前記デジタル信号処理部は、前記第2モジュールに内蔵されることを特徴とする測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
2G060AA15
, 2G060AD06
, 2G060AF01
, 2G060AG06
, 2G060AG08
, 2G060AG10
, 2G060HC13
