特許
J-GLOBAL ID：201603013327661588
レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-139445
公開番号（公開出願番号）：特開2013-041246
特許番号：特許第5977593号
出願日： 2012年06月21日
公開日（公表日）： 2013年02月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 式(I)で表される構造単位を有する樹脂、
アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂(但し、式(I)で表される構造単位を含まない)、及び
式(II)で表される酸発生剤を含有するレジスト組成物。
[式(I)中、
R1は、水素原子又はメチル基を表す。
A1は、炭素数1〜6のアルカンジイル基を表す。
A13は、フッ素原子を有する2価の炭素数1〜18の脂肪族炭化水素基を表す。
X12は、*-CO-O-又は*-O-CO-を表し、*は、A13との結合手を表す。
A14は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1〜17の脂肪族炭化水素基を表す。]
[式(II)中、
Q1及びQ2は、互いに独立に、フッ素原子又は炭素数1〜6のペルフルオロアルキル基を表す。
L1は、炭素数1〜17の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基で置き換わっていてもよい。
環Wは、炭素数3〜36の脂環式炭化水素環を表し、該脂環式炭化水素環に含まれるメチレン基は、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基又はスルホニル基で置換されていてもよく、該脂環式炭化水素環に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数1〜12のアルコキシ基、炭素数3〜12の脂環式炭化水素基又は炭素数6〜10の芳香族炭化水素基で置換されていてもよい。
Rf1及びRf2は、互いに独立に、フッ素原子又は炭素数1〜6のフッ化アルキル基を表す。
nは、1〜10の整数を表す。
nが2以上のとき、複数存在するRf1及びRf2は、それぞれ同一又は相異なる。
Z+は、有機対イオンを表す。]
IPC (2件)：
G03F 7/004 ( 200 6.01)
, G03F 7/039 ( 200 6.01)
G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503 A
, G03F 7/039 601
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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