特許
J-GLOBAL ID：201603013914433598
ガス増幅を用いた放射線検出器の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人サクラ国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-209058
公開番号（公開出願番号）：特開2014-062853
特許番号：特許第5987591号
出願日： 2012年09月24日
公開日（公表日）： 2014年04月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 板状のメタル基板を準備する工程と、
前記メタル基板において、前記メタル基板の少なくとも一辺に沿うとともに、厚さ方向に貫通した複数のスロット状の貫通孔を等間隔で形成する工程と、
前記メタル基板の主面上において、前記複数のスロット状の貫通孔を埋設するようにしてドライフィルムレジストを形成する工程と、
前記ドライフィルムレジストを露光現像して、前記ドライフィルムレジストの、前記メタル基板における前記複数のスロット状の貫通孔の非形成領域において、前記一辺に沿った第1の方向、及び当該第1の方向と直交する第2の方向にそれぞれ配列されるように、前記ドライフィルムレジストを貫通して複数の円柱状の貫通孔を形成する工程と、
前記複数の円柱状の貫通孔に対してめっき処理を施し、前記複数の円柱状の貫通孔内にそれぞれめっき材を充填する工程と、
前記ドライフィルムレジストを剥離した後、前記メタル基板上において残存する複数の前記めっき材を覆うように前記メタル基板上全面に絶縁材を形成する工程と、
前記絶縁材上にドライフィルムレジストを形成した後に、露光現像し、前記複数のめっき材を中心とした複数の円形部分、及び前記複数の円形部分のうちの、前記第1の方向に隣接する円形部分同士を等間隔で分断するように画定されたストリップ部分を覆い、残部を露出させたマスクを形成する工程と、
前記マスクを介してめっき処理を行い、前記絶縁材上に、それぞれが前記複数のめっき材を中心とした複数の開口部を有する複数のストリップ電極を形成する工程とを具え、
前記複数のストリップ電極からなる複数のストリップ陰極電極、前記複数のスロット状の貫通孔が形成された前記メタル基板からなる複数のストリップ陽極電極、及び前記複数のめっき材からなる複数のピクセル電極を含むガス増幅を利用した放射線検出器を製造することを特徴とする、ガス増幅を利用した放射線検出器の製造方法。
IPC (2件)：
G01T 1/18 ( 200 6.01)
, H01J 47/06 ( 200 6.01)
