特許
J-GLOBAL ID：201603014742319743
試料ホルダおよび電子顕微鏡像の観察方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大野 聖二
, 森田 耕司
, 片山 健一
, 鈴木 守
, 加藤 真司
, 津田 理
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-162925
公開番号（公開出願番号）：特開2014-022323
特許番号：特許第6002946号
出願日： 2012年07月23日
公開日（公表日）： 2014年02月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 電子顕微鏡像の観察に用いられる試料ホルダであって、
導電性を有する2次電子放射防止薄膜側を電子線入射面とし絶縁性薄膜側を試料付着面とする2次電子放射防止薄膜と絶縁性薄膜の積層体と、前記絶縁性薄膜に対向し且つ離間して設けられた導電性薄膜とを備え、
前記2次電子放射防止薄膜の電位は、電子顕微鏡のグランド電位に制御可能であり、
前記導電性薄膜の電位は、電子顕微鏡のグランド電位と同電位若しくはプラス電位に制御可能である、
ことを特徴とする試料ホルダ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
