特許

J-GLOBAL ID：201603014779361995

単結晶成長装置

発明者： リー,チャン ヨン ,  ソン,ド ウォン ,  チェ,ジュン ヒュク ,  ソン,ジン ホ ,  キム,チョル ホワン
出願人/特許権者： エルジー・シルトロン・インコーポレーテッド
代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-555091
公開番号（公開出願番号）：特表2016-504266
出願日： 2013年12月19日
公開日（公表日）： 2016年02月12日
要約：

【課題】単結晶成長装置の提供【解決手段】チャンバー、該チャンバーの内部に設けられ、単結晶成長原料である溶融液を収容する坩堝、該坩堝と前記チャンバーの側壁との間に配置され、前記坩堝を加熱する発熱体、前記坩堝の上端に配置される坩堝スクリーンを備え、該坩堝スクリーンは、前記坩堝中に収容されている前記溶融液から発生する輻射熱を前記坩堝の内部側壁に反射する折り曲げ部を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

チャンバーと、 前記チャンバーの内部に設けられ、単結晶成長原料である溶融液を収容する坩堝と、 前記坩堝と前記チャンバーの側壁との間に配置され、前記坩堝を加熱する発熱体と、 前記坩堝の上端に配置される坩堝スクリーンと、 を備え、 前記坩堝スクリーンは、前記坩堝中に収容されている前記溶融液から発生する輻射熱を前記坩堝の内部側壁に反射する折り曲げ部を有する、単結晶成長装置。

IPC (2件)：

C30B 15/14 ,  C30B 29/20

FI (2件)：

C30B15/14 ,  C30B29/20

Fターム (6件)：

4G077AA02 ,  4G077BB01 ,  4G077CF10 ,  4G077EG19 ,  4G077EG25 ,  4G077HA12

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平1-301581
  
• 酸化物単結晶製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-357537   出願人：株式会社東芝

審査官引用 (3件)

• 特開平1-301581
  
• 酸化物単結晶製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-357537   出願人：株式会社東芝
• 特開平1-301581