特許
J-GLOBAL ID：201603015136723802
露光装置、それを用いたデバイスの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高岡 亮一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-041509
公開番号（公開出願番号）：特開2013-179136
特許番号：特許第6012200号
出願日： 2012年02月28日
公開日（公表日）： 2013年09月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 照明系からの光を原板に形成されたパターンに照射し、投影光学系を介して前記パターンの像を基板上に露光する露光装置であって、
前記照明系における前記基板の位置と光学的に共役な位置に配置され、前記基板の外周よりも内側の円形境界線に重なる円弧を縁に含み、該円弧の縁を含む部分で前記光の一部を遮光して前記基板上に前記光が照射される領域を規定する遮光板と、
前記遮光板を前記照明系の光軸に平行な軸の回りに回転駆動する第1駆動部と、
前記遮光板を前記光軸に垂直な平面内で直線駆動する第2駆動部と、
前記遮光板により形成される遮光位置を検出する検出部と、
前記検出部による検出結果に基づいて、基準の時点からの前記遮光位置の変化が、前記回転駆動の方向の前記遮光位置の変化と、前記直線駆動の方向の前記遮光位置の変化と、のうち、いずれの方向の変化を含むかを判断する判断部と、
を備えることを特徴とする露光装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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