加速度計

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：真田修治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-146184
公開番号（公開出願番号）：特開2014-010021
特許番号：特許第5950449号
出願日： 2012年06月29日
公開日（公表日）： 2014年01月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ビーム状を呈する起歪体の長手方向における基端側を固定部とし、中間に前記長手方向に直交する方向に貫通するスリットを形成して薄肉となした一対の起歪部とし、先端側を重り部とし、前記起歪部に少なくとも4つのひずみゲージをそれぞれのゲージ軸を前記長手方向に向けて添着してなる加速度計であって、前記スリットの中央を境界として、ホイートストンブリッジ回路の一方の対辺に接続される複数の第1のひずみゲージおよび前記一方の対辺に隣接する他方の対辺に接続される複数の第2のひずみゲージを前記起歪部上の対称位置に、それぞれ添着し、前記第1のひずみゲージと前記第2のひずみゲージの各々の抵抗値を全て等しく設定すると共に、前記第1のひずみゲージのグリッド長に対する前記第2のひずみゲージのグリッド長を異ならせ、前記ホイートストンブリッジ回路において、グリッドの主感度方向の出力を大きくし、主感度方向に直交する方向の出力を相殺し得るように、設定したことを特徴とする加速度計。

IPC (2件)：

G01P 15/12 ( 200 6.01) , G01P 15/08 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01P 15/12 Z , G01P 15/08 101 B

引用特許：

出願人引用 (5件)

特許第2939921号
特許第2939923号
半導体加速度センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-107688 出願人：日本電装株式会社

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